LTPS

LTPS (Low Temperature Poly Silicon) – современная технология изготовления LCD TFT-дисплеев.

Ранее тонкоплёночные транзисторы создавались на основе аморфного кремния. Это весьма ограничивало их полезную площадь и требовало довольно высоких значений напряжения. Значительно расширить возможности этих транзисторов можно было, применив низкотемпературный кристаллический кремний.

Осаждение кристаллического кремния требует высокой температуры (в районе 900°C). Проблема заключается в том, что при такой температуре плавится и стекло, на которое осаждается кремний. Следовательно, возникла потребность в технологиях, позволяющих осаждать кремниевые молекулы при сравнительно небольшой температуре.

Существует несколько методов LTPS, наиболее распространенным из которых является лазерный отжиг. Суть его в том, что на стекло наносится аморфный кремень, который вначале расплавляют при помощи эксимерного лазера, а после кристаллизуют при температуре порядка 300°C.

После того, как на стеклянной подножке образовывается слой из LTPS, начинается формирование прозрачных транзисторов из окисла индия. Так как подвижность электронов в кристаллическом кремнии во много раз выше, чем в аморфном кремнии, то значительно уменьшается размер самого транзистора. Плюс к этому, кристаллическая форма кремния позволяет разместить здесь же логику драйвера панели.

В результате, на свет появляются панели System on Panel - они значительно легче традиционных, благодаря снижению количества контактов их проще интегрировать в монитор, они потребляют намного меньше электричества.

На данный момент, технология LTPS еще далека от повсеместного распространения. Основные причины этого – дороговизна и сложность производства.